Herstellung von Halbleitervorrichtungen mit Luftspalten für Zwischenverbindungs-Strukturen mit Ultra-Niedrigen Kapazitäten
EP1352421
Art B1
25. November 2009
Anmelder: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION, Georgia Tech Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1352421
- Aktenzeichen
- EP01968364
- Anmeldetag
- 31. August 2001
- Veröffentlichung
- 25. November 2009
- Erteilung
- 25. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
Georgia Tech Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Georgia Tech Research Corporation
Die Georgia Tech Research Corporation ist die Einrichtung des Georgia Institute of Technology in den USA, die Forschungsverträge verwaltet und geistiges Eigentum der Universität lizenziert.
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