Poliervorrichtung zum chemisch-mechanischen Polieren von plättchen-förmigen Material und Vorrichtung zur Verteilung von Poliermittel für eine solche Maschine
EP1352711
Art A1
15. Oktober 2003
Anmelder: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1352711
- Aktenzeichen
- EP03364003
- Anmeldetag
- 28. März 2003
- Veröffentlichung
- 15. Oktober 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B57/02B24B41/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.
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Vertreten von
Bomer, Françoise Marie
Saint-Grégoire, Frankreich
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