Cmp-Polierkissen mit Feststoffkatalysator

EP1354012 Art A2 22. Oktober 2003

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1354012
Aktenzeichen
EP02713421
Anmeldetag
16. Januar 2002
Veröffentlichung
22. Oktober 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02H01L21/321C09K3/14B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cabot Microelectronics Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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