Verwendung eines Systems zur Endpunktdetektierung um Verschiedene Prozess-Stationen Innerhalb einer Anlage Aneinander Anzupassen

EP1354343 Art B1 4. April 2007

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1354343
Aktenzeichen
EP01977349
Anmeldetag
2. Oktober 2001
Veröffentlichung
4. April 2007
Erteilung
4. April 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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