Methode und Apparat zur Kontrolle einer Halbleiterscheibe Während des Schleudertrockenvorgangs
EP1354344
Art A2
22. Oktober 2003
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1354344
- Aktenzeichen
- EP01992415
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Walker, Ross Thomson
Forresters IP LLP · München
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Thomson, Paul Anthony
NoneBirkenhead