Anlage und Verfahren zur Bildung von Schichten
EP1354981
Art B1
7. Juni 2017
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1354981
- Aktenzeichen
- EP03405260
- Anmeldetag
- 14. April 2003
- Veröffentlichung
- 7. Juni 2017
- Erteilung
- 7. Juni 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23C16/40C23C16/455B01F3/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Störzbach, Michael Andreas
Bern, Schweiz
51
Patente gesamt
26
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte