Temperaturmessverfahren, Wärmebehandlungsverfahren und Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen

EP1355138 Art A1 22. Oktober 2003

Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1355138
Aktenzeichen: EP02741382
Anmeldetag: 1. Juli 2002
Veröffentlichung: 22. Oktober 2003
Rechtsraum: EP
IPC: G01J5/02H01L21/66G01J5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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