Arraystruktur für ein Ladungsträgerteilchenstrahl-Belichtungsgerät und Herstellungsverfahren
EP1355192
Art B1
29. Februar 2012
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA, Hitachi, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1355192
- Aktenzeichen
- EP03252185
- Anmeldetag
- 7. April 2003
- Veröffentlichung
- 29. Februar 2012
- Erteilung
- 29. Februar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01J37/04H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CANON KABUSHIKI KAISHA
Hitachi, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
19.202 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
21.149 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
TBK
TBK · München
-
TBK-Patent
TBK-Patent · München