Schmalbandiger Spektralfilter und Seine Verwendung

EP1356476 Art B1 23. August 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1356476
Aktenzeichen: EP02719727
Anmeldetag: 25. Januar 2002
Veröffentlichung: 23. August 2006
Erteilung: 23. August 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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