Zirkonverstärkte Keramische Komponenten und Beschichtungen bei Halbleiterherstellungsgeräten und Verfahren zu Ihrer Herstellung
EP1356501
Art B1
6. Januar 2010
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1356501
- Aktenzeichen
- EP01995117
- Anmeldetag
- 21. November 2001
- Veröffentlichung
- 6. Januar 2010
- Erteilung
- 6. Januar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00C23C16/44C23C16/40C23C14/08H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Shindler, Nigel
Tunbridge Wells, Großbritannien
124
Patente gesamt
26
Fachgebiete
5
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Schwerpunkte