Lithographische Maske, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1357427 Art B1 25. Oktober 2006

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1357427
Aktenzeichen
EP03251348
Anmeldetag
6. März 2003
Veröffentlichung
25. Oktober 2006
Erteilung
25. Oktober 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/14G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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