Hitzebeständige Elektrode zum Plasmaätzen, und Plasmaätzvorrichtung mit dieser Elektrode

EP1357576 Art A3 26. April 2006

Anmelder: Nisshinbo Industries, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1357576
Aktenzeichen
EP02356151
Anmeldetag
31. Juli 2002
Veröffentlichung
26. April 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C08L63/00C08G18/09C08K3/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nisshinbo Industries, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nisshinbo Industries

Nisshinbo Industries ist ein japanischer Mischkonzern mit Geschäftsfeldern in Textilien, Bremsen, Elektronik und Chemie mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Maschinenelementetechnik sowie Kunststofftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2009 ab.

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