Filter mit Säurepolymeren und Physikalischer Adsorptionsmittel

EP1357998 Art B1 3. Dezember 2014

Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation, Extraction Systems, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1357998
Aktenzeichen
EP01933119
Anmeldetag
4. Mai 2001
Veröffentlichung
3. Dezember 2014
Erteilung
3. Dezember 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B01J20/20B01D53/04B01J20/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Extraction Systems, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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