Diamantbeschichtungen auf Reaktorwänden und Verfahren zu Ihrer Herstellung
EP1358363
Art B1
16. Juli 2008
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1358363
- Aktenzeichen
- EP01989716
- Anmeldetag
- 21. November 2001
- Veröffentlichung
- 16. Juli 2008
- Erteilung
- 16. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kemp, Paul Geoffrey
Nice, Frankreich
168
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30
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11
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