Verfahren zur Charakterisierung oder Steuerung der Herstellung eines Dünnschichtbauelements mittels Optischer Verfahren
EP1358467
Art A1
5. November 2003
Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.), Jobin Yvon S.A., Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS) 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1358467
- Aktenzeichen
- EP02701368
- Anmeldetag
- 31. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 5. November 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/21G01B11/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.)
Jobin Yvon S.A.
Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS) - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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