Herstellungsverfahren für Beschleunigungsmesser, der durch auf dem Wafer-Massstab Angebrachte Kappen Geschützt Wird

EP1358489 Art B1 27. Dezember 2006

Anmelder: Silverbrook Research Pty Limited, Silverbrook Research Pty. Limited 🇦🇺

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1358489
Aktenzeichen
EP02729357
Anmeldetag
8. Januar 2002
Veröffentlichung
27. Dezember 2006
Erteilung
27. Dezember 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G01P15/08H01L21/822H01L23/04G01P1/02B81B7/00B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Silverbrook Research Pty Limited
Silverbrook Research Pty. Limited
Land
🇦🇺 Australien
🇦🇺 Silverbrook Research Pty Limited

Ehemaliges australisches Forschungsunternehmen für Tintenstrahldruck- und Sensortechnologien, mittlerweile inaktiv.

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