Verfahren zur Herstellung eines Beschichteten Prozesskammerbauteils
EP1358666
Art A1
5. November 2003
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1358666
- Aktenzeichen
- EP02784515
- Anmeldetag
- 19. November 2002
- Veröffentlichung
- 5. November 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32C23C14/56C04B41/88C23C4/02C23C4/12C23C4/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
751
Patente gesamt
31
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte