Vorrichtung und Verfahren zur automatischen Zustandsüberwachung einer Platte durch Schweissgeschwindigkeitsmessen
EP1359390
Art B1
23. Mai 2012
Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1359390
- Aktenzeichen
- EP03291030
- Anmeldetag
- 28. April 2003
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2012
- Erteilung
- 23. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/66G01N21/956G01N21/95H01L21/18// G01B11/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Soitec
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
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Vertreten von
Texier, Christian
Paris, Frankreich
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Regimbeau
Regimbeau · Rennes