Halter, lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung eines Halters und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1359466
Art A1
5. November 2003
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1359466
- Aktenzeichen
- EP02253073
- Anmeldetag
- 1. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 5. November 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F9/00H01L21/00H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Leeming, John Gerard
London, Großbritannien
2.212
Patente gesamt
31
Fachgebiete
20
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Schwerpunkte