Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines digitalen Massendurchflussreglers
EP1359487
Art B1
3. Oktober 2007
Anmelder: Celerity, Inc., Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1359487
- Aktenzeichen
- EP03016602
- Anmeldetag
- 21. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 3. Oktober 2007
- Erteilung
- 3. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Celerity, Inc.
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Meier, Christof
Stuttgart, Deutschland
44
Patente gesamt
14
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte