Integrationseinrichtung eines Vakuumpumpsystems in einem Doppelboden eines Reinraums in einem Fabrik für Halbleiterkomponenten
EP1359605
Art A2
5. November 2003
Anmelder: Alcatel Lucent, ALCATEL 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1359605
- Aktenzeichen
- EP03356072
- Anmeldetag
- 29. April 2003
- Veröffentlichung
- 5. November 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Alcatel Lucent
ALCATEL - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Alcatel-Lucent
Ehemaliger französisch-amerikanischer Telekommunikationskonzern mit Sitz in Paris/Boulogne-Billancourt, entstanden 2006 aus der Fusion von Alcatel und Lucent Technologies. War aktiv in Netzwerktechnik, Telekommunikationsausrüstung und Glasfasertechnologie; seit 2016 Teil von Nokia.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
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