"optisches Projektionssystem und Herstellungsverfahren Dafür, Belichtungssystem und Herstellungsverfahren dafür und Herstellungsverfahren für ein Mikrobauelement"
EP1359608
Art A1
5. November 2003
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1359608
- Aktenzeichen
- EP01272528
- Anmeldetag
- 25. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 5. November 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20G02B13/24G02B13/18G02B7/02G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Bereits 1873 gegründet, eine der traditionsreichsten britischen Patent- und Markenkanzleien mit Büros in London, Liverpool und Cardiff. Begleitet von der Anmeldung bis zur Verwertung, einschließlich Litigation vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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