Plasma-CVD-Vorrichtung

EP1359611 Art B1 11. September 2013

Anmelder: IHI Corporation, Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1359611
Aktenzeichen
EP02715845
Anmeldetag
21. Januar 2002
Veröffentlichung
11. September 2013
Erteilung
11. September 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23C16/509
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IHI Corporation
Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 IHI Corporation

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.

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