Polierartikel zum elektrochemisch-mechanischen Polieren von Substraten

EP1361023 Art B1 12. April 2006

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1361023
Aktenzeichen
EP03252801
Anmeldetag
2. Mai 2003
Veröffentlichung
12. April 2006
Erteilung
12. April 2006
Rechtsraum
EP
IPC
B24D13/14B24B37/04H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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