Plasma-CVD-Vorrichtung

EP1361294 Art A1 12. November 2003

Anmelder: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD., Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1361294
Aktenzeichen: EP03017567
Anmeldetag: 27. Juni 2001
Veröffentlichung: 12. November 2003
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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