Verfahren zur Herstellung einer Phasenverschiebungsmaske und Phasenverschiebungsmaske

EP1361478 Art B1 30. Dezember 2009

Anmelder: DAI NIPPON PRINTING CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1361478
Aktenzeichen: EP02701556
Anmeldetag: 15. Februar 2002
Veröffentlichung: 30. Dezember 2009
Erteilung: 30. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/08H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dai Nippon Printing

Japanisches Unternehmen der Druckindustrie mit Sitz in Tokio, das sich über klassische Druckerzeugnisse hinaus in Elektronikmaterialien, Displaykomponenten und Verpackungslösungen diversifiziert hat.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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