Chemisch-Mechanisches Polieren von Kupferoxid-Damaskus-Strukturen
EP1362378
Art A2
19. November 2003
Anmelder: ASML US, Inc., MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY, Massachusetts Institute Of Technology 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1362378
- Aktenzeichen
- EP02713471
- Anmeldetag
- 23. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 19. November 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- ASML US, Inc.
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Massachusetts Institute Of Technology - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Massachusetts Institute of Technology
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Dunlop, Brian Kenneth Charles
Cheltenham, Großbritannien
403
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32
Fachgebiete
16
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Stoner, Gerard Patrick
NoneLondon