Verfahren zum Ätzen einer Oberfläche mittels durch fokussierten Elektronenstrahl hervorgerufenen chemischen Reaktionen auf dieser Oberfläche
EP1363164
Art B1
29. April 2015
Anmelder: NaWoTec GmbH, University of Maryland, NaWoTec GmbH Rossdorf, UNIVERSITY OF MARYLAND 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1363164
- Aktenzeichen
- EP02010233
- Anmeldetag
- 16. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 29. April 2015
- Erteilung
- 29. April 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/74H01L21/311H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NaWoTec GmbH
University of Maryland
NaWoTec GmbH Rossdorf
UNIVERSITY OF MARYLAND - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Vertreten von
Borchert, Uwe Rudolf
München, Deutschland
298
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
patcare Patentanwälte Partnerschaft mbB
patcare Patentanwälte Partnerschaft mbB · Oberhaching
-
Puschmann Borchert Bardehle Patentanwälte Partnerschaft mbB
Puschmann Borchert Bardehle Patentanwälte Partnerschaft mbB · Oberhaching
-
Borchert, Uwe Rudolf, Dipl.-Ing
NoneMünchen