Keramischer Suszeptor

EP1363316 Art B1 10. Oktober 2007

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1363316
Aktenzeichen
EP03252397
Anmeldetag
15. April 2003
Veröffentlichung
10. Oktober 2007
Erteilung
10. Oktober 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00C23C16/458C30B25/12C30B31/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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