Reinigungsmittel nach CMP-Gebrauch
EP1363321
Art B1
19. Oktober 2005
Anmelder: Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha, NEC Electronics Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1363321
- Aktenzeichen
- EP03010761
- Anmeldetag
- 14. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2005
- Erteilung
- 19. Oktober 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/321C11D11/00C11D3/20C11D7/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha
NEC Electronics Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
NEC
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.
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Flaccus · Müller-Wolff
Wesseling, Deutschland
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