GaN-einkristallines Substrat, epitaktisches Nitrid-Typ-Halbleitersubstrat, Nitrid-Typ-Halbleitervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung

EP1363322 Art A3 21. Oktober 2009

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd., Institute of Materials Research and Engineering 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1363322
Aktenzeichen
EP03009850
Anmeldetag
13. Mai 2003
Veröffentlichung
21. Oktober 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/324H01L21/20C30B29/40C30B25/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Institute of Materials Research and Engineering
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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