Bornitrid-Yttriumoxid Verbundbauteile einer Halbleiterbearbeitungsvorrichtung und dessen Herstellungsverfahren
EP1364075
Art A1
26. November 2003
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1364075
- Aktenzeichen
- EP01995199
- Anmeldetag
- 23. November 2001
- Veröffentlichung
- 26. November 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23C16/40C23C16/34H01L21/00H01J37/32B01J19/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Brookes Batchellor LLP
Brookes Batchellor LLP · London
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Kemp, Paul Geoffrey
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