Verfahren zur Herstellung von Strukturen im Nanometerbereich

EP1364394 Art B1 4. April 2007

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH, FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1364394
Aktenzeichen: EP02706639
Anmeldetag: 29. Januar 2002
Veröffentlichung: 4. April 2007
Erteilung: 4. April 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285B81C1/00H01L21/321H01L21/336H01L21/28H01L21/316H01L21/335H01L21/74H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Forschungszentrum Jülich GmbH
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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