Verfahren zur Submikrometer-Strukturierung von Siliziden sowie Dadurch Hergestellte Bauteile

EP1364395 Art A2 26. November 2003

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH, FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1364395
Aktenzeichen: EP02708199
Anmeldetag: 2. Februar 2002
Veröffentlichung: 26. November 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285H01L21/306H01L21/336

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Forschungszentrum Jülich GmbH
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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