Verfahren zur Mikroherstellung von Strukturen unter Verwendung von Silizium-Auf-Isolator-Material
Anmelder: THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC., The Charles Stark Draper Laboratory, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1364398
- Aktenzeichen
- EP02708936
- Anmeldetag
- 2. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 26. November 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/46C23F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC.
The Charles Stark Draper Laboratory, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
Das Charles Stark Draper Laboratory ist eine gemeinnützige US-amerikanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, spezialisiert auf Navigations-, Sensor- und Biotechnologie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Medizintechnik, ergänzt durch Pharma- und Halbleitertechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.
477 Patente in unserer Datenbank
Venner Shipley entstand 1947 aus einer Patentagentur der 1930er-Jahre; durch Fusionen reichen ihre Wurzeln bis in die 1880er zurück. Als europäische Full-Service-IP-Kanzlei ist sie neben Großbritannien auch in Madrid und München vertreten.
-
Murphy, Colm Damien
NoneLondon
-
Rickard, David John
NoneLondon
-
Hill, Justin John
NoneLondon