Arbeitsformvorhersageverfahren, Arbeitsanforderungsbestimmungsverfahren, Arbeitsverfahren, Arbeitssystem, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements, Computerprogramm und Computerprogrammspeichermedium
EP1365445
Art B1
5. Dezember 2007
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1365445
- Aktenzeichen
- EP02737613
- Anmeldetag
- 15. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 5. Dezember 2007
- Erteilung
- 5. Dezember 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B49/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Viering, Hans-Martin
München, Deutschland
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