Herstellung von Mustern von Mikrostrukturen in Halbleitern mit Uv-Laser
EP1365880
Art A1
3. Dezember 2003
Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1365880
- Aktenzeichen
- EP02707453
- Anmeldetag
- 10. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 3. Dezember 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/38B29C67/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
334 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hoarton, Lloyd Douglas Charles
München, Deutschland
1.651
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Fachgebiete
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Weitere Vertreter
-
Meddle, Alan Leonard
NoneMünchen