Verarbeitung von Materialien in einer Nichtthermischen Atmosphärendruck-Hochfrequenz-Plasmaentladung
EP1366209
Art A1
3. Dezember 2003
Anmelder: The Regents of the University of California, The Regents of The University of California 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1366209
- Aktenzeichen
- EP02709261
- Anmeldetag
- 31. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 3. Dezember 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/503C23C16/505C23C16/507
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- The Regents of the University of California
The Regents of The University of California - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of California
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