Verfahren und Vorrichtung zur Schwingungssteuerung

EP1366390 Art A2 3. Dezember 2003

Anmelder: Cymer, Inc., ACTIVE CONTROL EXPERTS INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1366390
Aktenzeichen: EP02733831
Anmeldetag: 7. März 2002
Veröffentlichung: 3. Dezember 2003
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, Inc.
ACTIVE CONTROL EXPERTS INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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