Herstellung eines Metallischen Musters
EP1366511
Art B1
10. August 2005
Anmelder: Atotech Deutschland GmbH, ATOTECH Deutschland GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1366511
- Aktenzeichen
- EP02719808
- Anmeldetag
- 12. Februar 2002
- Veröffentlichung
- 10. August 2005
- Erteilung
- 10. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213H05K3/06H05K3/24G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Atotech Deutschland GmbH
ATOTECH Deutschland GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Atotech Deutschland
Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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Vertreten von
Bressel, Burkhard
Berlin, Deutschland
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Fachgebiete
7
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Schwerpunkte