Gerät und Verfahren, um die Leistung von Mikromaschinen oder mikroelektromechanischen Bauelementen zu bestimmen

EP1367405 Art B1 19. März 2008

Anmelder: IMEC, IMEC vzw, Interuniversitair Microelectronica Centrum vzw, KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1367405
Aktenzeichen
EP03447115
Anmeldetag
20. Mai 2003
Veröffentlichung
19. März 2008
Erteilung
19. März 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G01R31/327
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
IMEC vzw, Interuniversitair Microelectronica Centrum vzw
KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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