Gasdynamisch-kontrollierte Tröpfchen als Target für eine Laser-Plasma Strahlungsquelle im extrem-ultravioletten Bereich

EP1367441 Art B1 28. August 2013

Anmelder: University of Central Florida Foundation, Inc., Northrop Grumman Corporation, Northrop Grumman Space Technology & Missions Systems Corp. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1367441
Aktenzeichen
EP03011030
Anmeldetag
19. Mai 2003
Veröffentlichung
28. August 2013
Erteilung
28. August 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00G03F7/20H05H1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
University of Central Florida Foundation, Inc.
Northrop Grumman Corporation
Northrop Grumman Space Technology & Missions Systems Corp.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Northrop Grumman

US-amerikanischer Rüstungs- und Luftfahrtkonzern mit Sitz in Virginia, tätig in den Bereichen Verteidigungselektronik, Flugzeugbau, Raumfahrt und Cybersicherheit.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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