Verbesserungen in einem Teilchendetektor
EP1367630
Art B1
14. September 2011
Anmelder: Carl Zeiss SMT Limited, Leo Electron Microscopy Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1367630
- Aktenzeichen
- EP03253356
- Anmeldetag
- 29. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 14. September 2011
- Erteilung
- 14. September 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT Limited
Leo Electron Microscopy Limited - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Roberts, David Leslie
Cambridge, Großbritannien
96
Patente gesamt
25
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte