Target-Führunggsystem für einen Tröpfchengenerator in einer EUV Plasmaquelle
EP1367867
Art B1
24. Januar 2007
Anmelder: University of Central Florida Foundation, Inc., Northrop Grumman Corporation, Northrop Grumman Space Technology & Missions Systems Corp. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1367867
- Aktenzeichen
- EP03011056
- Anmeldetag
- 20. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 24. Januar 2007
- Erteilung
- 24. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- University of Central Florida Foundation, Inc.
Northrop Grumman Corporation
Northrop Grumman Space Technology & Missions Systems Corp. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Northrop Grumman
US-amerikanischer Rüstungs- und Luftfahrtkonzern mit Sitz in Virginia, tätig in den Bereichen Verteidigungselektronik, Flugzeugbau, Raumfahrt und Cybersicherheit.
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Fachgebiete
Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
30.164
Patente gesamt
15
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Schmidt, Steffen J., Dipl.-Ing
NoneMünchen