Verfahren und Verdampfungslösung zur Spülung einer Entwickelten Photoresistschicht

EP1368824 Art A1 10. Dezember 2003

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1368824
Aktenzeichen
EP02725153
Anmeldetag
14. März 2002
Veröffentlichung
10. Dezember 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311G03F7/40H01L21/027G03F7/42C11D11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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