Verfahren zum Nachweis der Integrität von Schichten auf Wafer-Ebene
EP1369682
Art A3
1. Dezember 2004
Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1369682
- Aktenzeichen
- EP03447145
- Anmeldetag
- 5. Juni 2003
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95G01N21/91G01R31/265G01R31/311H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Bird, William Edward
Heverlee, Belgien
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