Verfahren zur Herstellung eines Optischen Glieds für eine Projektionsvorrichtung

EP1369708 Art B1 4. Mai 2011

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1369708
Aktenzeichen: EP02705138
Anmeldetag: 13. März 2002
Veröffentlichung: 4. Mai 2011
Erteilung: 4. Mai 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G02B1/02G02B3/00G02B13/14G02B13/24H01L21/027C30B29/12C30B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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