Verfahren zur Strukturierung von dielektrischen Zwischenmetall-Schichten

EP1369913 Art A3 5. Januar 2005

Anmelder: Samsung Electronics Co., Ltd., SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1369913
Aktenzeichen
EP03253366
Anmeldetag
29. Mai 2003
Veröffentlichung
5. Januar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Samsung Electronics Co., Ltd.
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Samsung Electronics

Südkoreanischer Elektronikkonzern und Teil der Samsung-Gruppe. Entwickelt und produziert Halbleiter, Speicherchips, Displays, Smartphones, Unterhaltungselektronik sowie Haushaltsgeräte für den globalen Markt.

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