Sauerstoffangereicherte Cda-Modifikation eines Integrierten Cdo-Wäschers

EP1370340 Art A1 17. Dezember 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1370340
Aktenzeichen
EP02725253
Anmeldetag
19. März 2002
Veröffentlichung
17. Dezember 2003
Rechtsraum
EP
IPC
B01D50/00B01D53/70B01D53/22B01D53/047F23G7/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
Applied Materials, Inc.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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