Verfahren zur Strukturierung eines aus Glasartigen Material Bestehenden Flächensubstrats

EP1371092 Art B2 3. November 2010

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1371092
Aktenzeichen
EP02727409
Anmeldetag
13. März 2002
Veröffentlichung
3. November 2010
Erteilung
3. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/48C03B29/00C03C27/00C03B19/02C03C14/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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